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產品詳細說明
100x100mm落地型顯影/清洗機 (Floor-standing Developer/Cleaner)
**顯影精度:線寬/線距(L/S)=3μm/3μm (光阻厚度5μm)**
規格簡介:
●外觀尺寸:1140mm(W)x1310mm(D)x2050mm(H)。
●基材:100mm×100mm Ceramic Substrate。
●手動放片/自動供液。
●供料系統:自動供液手臂1組(可供應2種顯影液、DIW、N2)
●主軸轉速:10~3,000 rpm (±3rpm)。
●旋轉機構:AC Servo Motor。
●藥液恆溫控制:藥液出口溫度可控制。
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。